硬損傷又稱“突發性完全失效”、“一次性損壞”，比例約占10%。表現為器件電參數突然劣化，失 去原有功能。主要原因是靜電放電造成過壓使得介質被擊穿，或過流使得內部電路金屬導線熔斷、硅 片局部融化等。硬損傷可通過常規的性能測試手段及時發現，相對軟失效而言危害要小得多。 

軟損傷又稱“潛在性緩慢失效”、“多次損傷累積后失效”，比例約占90%。受到軟損傷的器件，雖然 當時各類電參數仍合格，然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產品或系統，可靠性變差， 可能會在后續過程中（直至終用戶）繼續遭受ESD軟損傷或其它過應力損傷積累而過早地失效。由于 軟損傷是潛在的，運用目前的技術還很難證明或檢測出來，特別是器件被裝入整機產品之后，因此具 有更大的危害性。這些產品流入市場后的維護成本和造成的其它損失，將比在生產中發生的直接損失 要放大幾十甚至上百倍。